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龙净净化厂家的FFU风机过滤单元系统已成洁净室主流方案

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根据洁净室

风机过滤单元循环系统。

第一种形式FFU风机过滤单元在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的FFU风机过滤单元设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。

第三种的FFU风机过滤单元循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的洁净设计方案。

龙净净化生产FFU风机过滤单元循环系统的特点是:整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

注:我司生产的FFU送风单元全部采用国际上最先进的数控冲床设备,数控冲床能更加准确定位精度在±0.01mm。我司通过美国质量认证机构质量体系认证,详情请致耐心浏览本站咨询,我们将竭诚为您提供优质的服务。